產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：Hanbell PS602 漢鐘真空泵維修 干式螺旋真空泵保養(yǎng)

  • 產(chǎn)品型號：PS602
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
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詳情介紹：
漢鐘真空泵維修 漢鐘螺桿泵維修 漢鐘干式螺桿真空泵維修
PS80 PS160 PS250 PS602 PS902 PS1302 PS1802
標(biāo)準(zhǔn)維修車間 標(biāo)準(zhǔn)維修治具 標(biāo)準(zhǔn)軟件清零 標(biāo)準(zhǔn)Overhaul流程工藝維修
HANBELL 真空泵精修 漢鐘真空泵保養(yǎng)

漢鐘干式真空泵 包括臺灣漢鐘干式螺桿式真空泵

PDR系列 包括機型 漢鐘真空泵 PDR100 ， 漢鐘真空泵 PDR602， 漢鐘 真空泵 PDR1202 
PS系列     包括機型 漢鐘真空泵PS80 ，漢鐘真空泵PS160，漢鐘真空泵 PS180，漢鐘真空泵 PS602，漢鐘真空泵 PS1302

臺灣漢鐘真空泵PS系列產(chǎn)品特點 螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色
　　
  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果，壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉(zhuǎn)子表面披覆材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。 泵浦溫度控制精準(zhǔn)
　　
  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度，減少沉積物的產(chǎn)生，增加真空泵浦的壽命。 密封馬達性高
　　
  PS系列真空泵浦亦采用設(shè)計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉(zhuǎn)溫度增加馬達的壽命外，也可避免制程氣體外漏的風(fēng)險。 微電腦控制保護周全
　　
  PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監(jiān)控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的性保護，十分適用于光電、半導(dǎo)體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求極高之產(chǎn)業(yè)。










Hanbell PS602 漢鐘真空泵維修 干式螺旋真空泵保養(yǎng)

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